85日目の「不和（フッ化）」水素

　日本政府の半導体・ディスプレー用重要素材3種の対韓輸出規制が85日目を迎える中、半導体工程に必須の液体フッ化水素など一部素材はまだ1回も輸出許可が下りていないことが分かった。該当製品の供給が長期間断たれ、韓国半導体業界では「使用済みのエッチングガス（高純度フッ化水素）も見直そう」と節約を呼び掛けるスローガンが登場するなど圧力が高まっている。

  26日、韓国半導体業界によると、日本政府は8月29日にサムスン電子向けの気体フッ化水素（ウエハーに薄い膜を被せる工程に使用）1件の輸出を許可して以降、フッ化水素の追加輸出を許可していない。特に半導体ウエハーのエッチング、不純物除去に使われる液体フッ化水素は85日にわたって輸出許可が出ていない。

  これに先立ち、日本は7月にフッ化水素とフッ化ポリイミド（フレキシブルディスプレーに使用される素材）、フォトレジスト（半導体回路を描く際に使用）の韓国への輸出について、これまでの3年有効の包括許可から個別許可に切り替える方式で輸出規制を強化した。日本はその後、フォトレジストは2件（8月7日、19日）、気体フッ化水素は1件（8月29日）の輸出許可を出した。日本政府の許可が3回続き、当時の韓国半導体業界からは「日本の輸出規制によるリスクがある程度緩和される」との期待感が生まれた。しかし、業界関係者は「それ以降の輸入は全くない。先月輸入された気体フッ化水素も供給不足を解決するには至らない少量だった。日本が国際社会を意識し、面目を立てたのだと思われる」と指摘した。

朝鮮日報 http://www.chosunonline.com/site/data/html_dir/2019/09/27/2019092780006.html